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将电子器件微型化，以致最终生产细胞大小的机器人，一直是工程师们追求的目标。微型机器人属于典型的微机电系统，其发展依赖于微加工、微传感、微驱动和微结构等方面。而致动器的定义，是指通过电、光信号，直接或间接控制机械结构，使之发生变形或移动等。一直以来，由于缺乏合适的微米级致动器系统，微型机器人技术的进一步发展受到限制。
鉴于此，美国宾夕法尼亚大学研究人员马克·密斯金及其同事，此次研发了一类新型电化学致动器，克服了这一瓶颈。这些致动器构成了机器人的腿，使得机器人尺寸小于0.1毫米（约为人的头发宽度），当受到激光刺激时，就会弯曲，产生行走动作。
实验中，研究团队在一块4英寸的硅片上，制造了超过100万个行走机器人。这些机器人由板载硅太阳能电池驱动。
研究团队认为，这些是已知的第一个尺寸小于0.1毫米的机器人，其中板载电子装置用于控制驱动。它们很坚固，能在高酸性环境和超过200开尔文的温度变化中生存下来，并且可以通过皮下针头注射，为探索生物环境内的应用带来了可能。
在该研究随附的新闻与观点文章中，美国麻省理工学院科学家迈克尔·斯塔诺表示，虽然这些机器人目前功能尚有限，譬如说它们比其他游泳型机器人稍慢，也不能感知环境及缺乏综合控制，但最有价值的是它们与现有硅技术的兼容，正是这一兼容性，让其在不久的未来很快就能够开发更多实用性功能。
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